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掩膜板檢查外表表面瑕疵檢查燈

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光學掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構,掩膜版應用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版,如ic(integratedcircuit,集成電路)、fpd(flatpaneldisplay,平板顯示器)、pcb(printedcircuitboards,印刷電路板)、mems

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